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Films minces de carbure de silicium amorphe : dépôt, caractérisation, gravure et applications de capteurs piézorésistifs (sciences et technologies des matériaux)
Films minces de carbure de silicium amorphe : dépôt, caractérisation, gravure et applications de capteurs piézorésistifs (sciences et technologies des matériaux)
SKU:9781613247747
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